| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目 | 16573.24 万元 | 10.36 % |
| 半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目 | 69696.96 万元 | 43.58 % |
| 研发与前沿技术创新中心项目 | 36267.07 万元 | 22.68 % |
| 营销及技术支持中心项目 | 12378.86 万元 | 7.74 % |
| 补充流动资金 | 25000 万元 | 15.63 % |
| 投资金额总计 | 159,916.13 万元 | |
| 实际募集资金总额 | - | |
| 超额募集资金 | -159,916.13 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | - |