一、公司基本情况
- 公司全称：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
- 主营业务：等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件等半导体设备核心零部件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空泵、质量流量计等核心零部件，提供整体解决方案。
- 产品应用：主要应用于半导体设备的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等核心工艺环节，同时也用于光伏、显示面板、精密光学等领域。
- 核心技术：拥有等离子体射频电源全数字测量技术、全数字环路控制技术、高效功放技术等3大基石技术和8大产品化支撑技术。
- 市场地位：国内领先的半导体设备核心零部件供应商，是国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业，打破了国外厂商的长期垄断。根据弗若斯特沙利文统计，2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，市场份额位列第一。
- 核心客户：拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并已通过中芯国际、长江存储等龙头晶圆厂的准入审核。
- 技术水准：自主研发的Bestda系列产品可支持28纳米制程，Aspen系列可支持7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。
- 荣誉资质：国家专精特新重点“小巨人”企业、国家制造业单项冠军、广东省射频开关电源工程技术研究中心等，承担3项国家级重大科研专项。
二、行业前景与竞争格局
- 行业空间：等离子体射频电源系统是半导体设备的“卡脖子”关键零部件，国产化率极低（2024年不足12%），市场需求广阔。随着半导体产业国产化进程加速和先进制程发展，市场持续增长。
- 竞争格局：全球市场由美国MKS和AE两大巨头垄断。公司是国内少数实现国产替代的企业，面临与国际巨头直接竞争，但国产化趋势为公司提供了发展机遇。
- 行业壁垒：技术壁垒高、研发投入大、认证周期长、生产的“精确复制”要求极高。
三、财务状况分析
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营收与利润：报告期内（2022-2024年）营收和净利润快速增长。
- 2022年：营收1.58亿元，净利润0.26亿元。
- 2023年：营收3.25亿元，净利润0.80亿元。
- 2024年：营收5.41亿元，净利润1.42亿元。
- 2025年1-6月：营收3.04亿元，净利润0.69亿元（注：同比有所下滑，主要受行业短期波动及研发投入加大影响）。
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毛利率：报告期各期主营业务毛利率分别为51.68%、53.23%、51.18%和54.85%，保持在较高水平。
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研发投入：持续高比例投入，报告期各期研发费用率分别为13.62%、11.36%、10.22%和14.24%。
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客户集中度：较高，前五大客户销售收入占比报告期均在70%以上，其中对第一大客户拓荆科技的销售占比超过50%（2023年、2024年及2025年1-6月），符合行业特性，公司与头部客户绑定深入。
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业绩波动风险：2025年上半年净利润同比下滑，公司提示存在业绩波动风险，与半导体行业周期、客户需求变化、研发投入等因素相关。
四、募集资金用途
本次IPO拟募集资金约14.69亿元，投资于以下项目：
- 沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目：扩大产能。
- 半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目：提升自动化生产水平。
- 研发与前沿技术创新中心项目：加强技术研发。
- 营销及技术支持中心项目：完善营销网络和售后服务体系。
- 补充流动资金。
五、风险提示
- 技术风险：技术迭代快，需持续创新；技术人才流失与泄密风险。
- 经营风险：客户集中度较高；市场竞争地位可能变化；行业周期性波动风险（2025年上半年业绩已有所体现）。
- 财务风险：业绩存在波动可能；税收优惠和政府补助政策变化风险。
- 其他风险：国际贸易摩擦风险；新增产能消化风险。
恒运昌是国内半导体设备核心零部件领域的领军企业，其等离子体射频电源系统产品技术实力突出，国产替代空间广阔。公司报告期内业绩增长显著，但也面临行业周期波动、客户集中、国际竞争等挑战。本次IPO募资将主要用于扩产和研发，有望进一步提升其市场竞争力。投资者需关注其技术迭代能力、客户拓展进展以及行业景气度的变化。