微导纳米 - 688147.SH

主营业务：专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售,向下游半导体、泛半导体客户提供尖端薄膜设备、配套产品及服务

经营范围：一般项目:电子产品、半导体、新能源材料、纳米技术镀膜专用设备、专用纳米材料的研发、设计、生产、技术咨询、技术服务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)许可项目:危险化学品经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以审批结果为准)

江苏微导纳米科技股份有限公司(简称“微导纳米”,股票代码688147.SH)成立于2015年12月,是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。

公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。

公司业务涵盖集成电路、光伏、LED,及MEMS等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域;主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、光伏电池、硅基微显示、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。

公司先后荣获国家专精特新“小巨人”企业、中国独角兽企业、江苏省小巨人企业(制造类)等荣誉称号,并被认定为江苏省企业技术中心、江苏省工程技术研究中心、江苏省工程研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站等。

在不断完善自有研发平台建设、持续巩固自身研发实力的同时,我们与复旦大学、上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学、澳洲新南威尔士大学等知名院校均建立了良好的合作关系,共同推进技术的创新发展。

公司坚持“创新驱动”核心发展导向,聚焦半导体与光伏两大主业,并前瞻布局新兴领域。

面对半导体行业高景气与光伏行业周期性调整并存的局面,公司通过持续优化业务结构、强化技术研发、提升运营效能,积极把握半导体市场机遇,主动应对光伏行业波动,推动整体业务稳健发展。

报告期内,公司实现营业收入118,925.42万元,同比增长13.27%；归属于上市公司股东的净利润为10,244.92万元,扣除非经常性损益的净利润为6,015.57万元；分业务看,半导体业务实现高速增长,成为公司核心增长极：半导体设备收入62,854.53万元,同比增长224.77%,占主营业务收入比重提升至53.11%；半导体新增订单占全部新增订单比例超过85%,增量主要来自存储领域客户。

光伏业务方面,受行业整体调整影响,光伏设备收入为38,184.07万元,同比下降52.48%。

新兴领域持续布局,为未来发展培育新的增长点。

（一）报告期内经营概况1、半导体领域业务高速增长,成为公司核心增长极报告期内,全球半导体行业延续高景气增长态势,行业需求持续旺盛,国内半导体产业链自主可控进程加速推进,高端薄膜沉积设备国产化替代需求进一步释放。

公司多款ALD和CVD设备获得重点客户验证和量产导入,核心产品的量产规模持续扩大,新产品与新技术市场渗透率稳步提升,半导体设备新签订单规模再创新高。

ALD设备方面,由逻辑芯片、DRAM、3DNAND、新型存储、先进封装等主流应用场景成功拓展至硅基电容等新兴应用场景,并在前沿技术领域持续取得突破。

CVD设备方面,公司持续攻坚,完成下一代高温Carbon、DLC(类金刚石碳)、HDC(高密度碳)、WDC(钨掺杂碳)等多种新型碳膜及掺杂碳膜设备及工艺的开发,在原有高温碳膜设备基础上开发出新型CVD设备,新设备具备沉积更高蚀刻选择比薄膜的能力,满足客户新一代产品的技术需求,进一步巩固公司在该领域的竞争优势。

同时,公司持续推进对其它类型CVD设备技术和市场的拓展,其中LPCVD等产品已经逐步获得产业链重要客户的量产重复订单。

存储领域：公司作为国内ALD与高端CVD设备的主要供应商,相关设备已广泛应用于国产存储芯片量产产线,相关工艺技术对推动DRAM、3DNAND等存储芯片技术的迭代与产业化具有关键支撑作用,伴随存储芯片3D结构堆叠层数的持续提升及客户产能规模的加速扩张,相关设备需求有望持续放量。

逻辑芯片领域：公司与国内主流厂商保持着稳定合作关系,多款设备已通过客户严格的技术验证,关键指标达到国际先进水平,能够满足国内客户当前技术的需求以及未来技术更迭的需要。

随着国内市场对高端国产薄膜沉积设备需求的增长,该领域业务有望保持增长态势。

先进封装领域：公司积极推动相关设备在客户端进行验证,并与多家潜在客户开展技术交流。

产品采用独特低温控制技术,在保证薄膜高质量沉积的同时,满足先进封装技术低热预算、高晶圆翘曲度、厚膜沉积等低温高质量薄膜需求,适配Chiplet、2.5D/3D封装等先进封装技术对薄膜沉积设备提出的全新技术要求。

先进封装技术是提升芯片整体性能的重要路径,市场发展潜力巨大。

公司作为国内少数具备该领域设备研发与生产能力的企业之一,相关业务预计将获得良好的发展机遇。

在半导体领域,公司将继续利用现有的核心技术,持续拓展市场空间,保持在ALD和CVD等高端薄膜沉积设备市场的竞争优势,瞄准国内外半导体先进技术和工艺的发展方向,构建和完善ALD、CVD等多种先进真空技术平台,持续丰富产品矩阵,满足客户新器件、新架构、新材料的工艺需求,提供多场景全方位解决方案,覆盖逻辑、存储、先进封装、化合物半导体、新型显示等细分应用领域,满足国内先进半导体下一代技术迭代的需求,从而占据技术的最前沿,引领行业创新发展。

2、光伏业务处于产能出清与价值重构的关键时期,新兴领域布局稳步推进光伏行业正处于产能出清与价值重构的关键时期,阶段性供需错配矛盾仍未完全化解,产业链盈利压力对设备验收节奏形成一定影响。

公司光伏核心设备市占率稳定,当前正积极应对行业变化,围绕TOPCon+升级改造及TBC增量市场进行布局,为光伏能耗新国标落地后,行业设备的技术改造和产能升级需求做好准备；进一步完善了包括全钙钛矿叠层、晶硅钙钛矿叠层、异质结（HJT）等新兴应用电池技术在内的技术储备。

同时,持续跟进现有订单的验收,提升存货周转率,加强应收账款管理,确保现金流的稳定。

在钙钛矿电池领域,公司是国内少数实现ALD、磁控溅射、蒸镀等核心真空工艺设备全覆盖的供应商之一。

公司自主研发的ALD设备是制备高性能柔性钙钛矿电池的关键装备,在同类产品中市场占有率领先,已多次助力客户刷新钙钛矿组件效率纪录。

报告期内,公司多款应用于新型高效电池技术的设备获得客户验证,并逐步进行技术升级以匹配客户未来需求,抢占量产先机。

除在半导体和光伏领域外,ALD技术在固态电池和新型显示等新兴领域同样展现出关键应用价值。

在固态电池领域,ALD技术可用于电解质薄膜制备、界面缓冲层构筑和锂金属负极保护,从而有效提升库伦效率与循环稳定性；在新型显示领域,ALD技术凭借原子级的厚度控制精度与优异的薄膜均匀性,可满足硅基OLED器件中钝化层、封装层等关键薄膜的沉积需求。

公司正持续加大在上述新兴领域的前沿化开发力度,为公司未来发展打造新的收入增长极。

3、强化创新引擎,扩大半导体研发投入,加速新品推出报告期内,公司坚持创新驱动,继续加大前沿新技术、新产品的研发投入力度,有序推进新产品的开发与导入。

2026年3月,公司携新一代iTomicPE系列等离子增强原子层沉积系统、iTomicSPX系列空间型原子层沉积系统、iTronixPE系列等离子体增强化学气相沉积系统等新产品亮相SEMICONChina2026。

上述三款产品采用独特的技术工艺,能够分别适用于逻辑、存储、先进封装等多领域的需求,展现了公司在薄膜沉积核心赛道的差异化技术壁垒与前瞻布局。

2026年8月,公司iTronixMTP等离子体化学气相沉积装备成功入选江苏省首台（套）重大装备清单,彰显公司强劲的创新硬实力。

较高水平的研发投入和核心研发团队是保障公司核心竞争力的关键,也是推动公司业务持续发展的根本。

报告期内,公司研发投入24,518.80万元,较上年同期的15,317.22万元增长60.07%,占同期公司营业收入比例为20.62%。

为健全长效激励机制,进一步凝聚核心人才,促进公司半导体业务的战略发展,报告期内公司向2025年限制性股票激励计划激励对象授予预留部分限制性股票,授予对象侧重核心技术人员和研发人员,有效实现员工价值与企业价值绑定。

公司持续加强知识产权保护与专利布局。

专利成果方面,报告期内新增专利授权共计48项,累计专利授权达到298项；新增专利申请共计91项,累计专利申请达到897项,荣获第26届中国专利奖（优秀奖）,技术创新能力获得国家级认可。

商标布局方面,围绕“微导”“LEADMICRO”核心品牌标识,完成多维度、全覆盖的商标战略布局,同步搭建完善的防御性商标保护体系,有力保障了品牌资产安全。

4、高效利用募集资金并持续推进募投项目,前瞻性产能扩充稳步推进为保障设备规模化交付能力,公司正积极推进2025年度向不特定对象发行可转换公司债券募投项目的实施进程,提升薄膜沉积设备的生产能力、研发能力及科技成果转化能力。

报告期内,募投项目“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”实施加速推进,投资进度超60%。

同时,公司持续深化精益生产理念,升级优化模块化、均衡化生产模式,推动数字化管理向深度渗透,逐步完善智能工厂制造体系,提升人均生产产值。

供应链管理环节,面对国际贸易局势变动引发的全球产业链调整,公司进一步加强了在需求预测、库存管理和供应商管理等方面的运营,构建完善、稳定、可控的全球供应链体系。

通过战略性采购、联合开发、扩大供应商储备等举措,逐步构建起自主可控、安全可靠、具备高韧性的供应链生态。

5、ESG治理持续深化,促进可持续发展报告期内,公司持续完善ESG（环境、社会及公司治理）体系,凭借在可持续发展各方面的良好表现,被多家机构覆盖和评级,秩鼎ESG评级位居A股同行业198家公司前10名。

公司于2026年4月发布第二份ESG报告,在治理架构、商业道德、信息安全、创新驱动等方面实现全面披露。

具体内容请参考公司2026年4月29日在上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)披露的《2025年度环境、社会及公司治理（ESG）报告》。

公司将持续深化ESG治理体系建设,推动ESG理念全面融入日常运营与决策流程,紧密对标监管指引要求及优秀实践案例,从“决策层、执行层、支持层”共同发力,驱动公司实现可持续发展。

2015年12月11日,王燕清、潘景伟、胡彬、刘兵武共同签署《江苏微导纳米装备科技有限公司公司章程》,约定微导有限注册资本为2,000.00万元,王燕清、潘景伟、胡彬、刘兵武分别认缴出资1,735.40万元、147.00万元、88.20万元、29.40万元,均为货币出资。

2015年12月25日,微导有限取得了无锡工商行政管理局新区分局核发的《营业执照》。

股份公司设立方式为有限责任公司整体变更为股份有限公司。

2019年12月3日,微导有限董事会通过决议,同意微导有限以2019年10月31日为基准日,将经天职国际审计的净资产59,597,806.03元按照1:0.7551的比例折合成股份公司股本4,500万元,每股面值1元,共计4,500万股,其余部分14,597,806.03元计入股份公司资本公积。

2019年12月3日,微导纳米的发起人股东签署《江苏微导纳米科技股份有限公司发起人协议》;2019年12月5日,微导纳米全体发起人召开股份公司创立大会暨2019年第一次临时股东大会,审议通过了《关于江苏微导纳米科技股份有限公司以账面净资产折股整体变更为股份公司的议案》等议案。

2019年12月5日,天职国际出具了《江苏微导纳米科技股份有限公司验资报告》(天职业字[2019]37647号),经审验,截至2019年12月5日,公司已收到全体股东以其拥有的微导有限净资产折合的实收资本4,500万元,余额14,597,806.03元计入资本公积。

2019年12月10日,微导纳米取得了无锡市市场监督管理局核发的《营业执照》。

2019年12月20日,微导纳米取得无锡市高新区(新吴区)商务局出具的《外商投资企业变更备案回执》(锡高管商资备201900507)。

2017年2月10日,微导有限董事会通过决议,同意LIWEIMIN将其持有的微导有限8.00%的股权(认缴出资额235.2941万元,实缴出资额0元)以0元的价格转让给聚海盈管理,LIXIANG将其持有的微导有限4.00%的股权(认缴出资额117.6471万元,实缴出资额0元)以0元的价格转让给聚海盈管理,王燕清将其持有的微导有限3.00%的股权(认缴出资额88.2496万元、实缴出资额88.2496万元)以88.2496万元的价格转让给聚海盈管理,王燕清将其持有的微导有限3.00%的股权(认缴出资额88.2496万元、实缴出资额88.2496万元)以88.2496万元的价格转让给德厚盈投资。

同日,上述各方分别签署《股权转让协议》。

2017年2月27日,微导有限取得了无锡市新吴区市场监督管理局核发的《营业执照》。

2018年3月23日,微导有限董事会通过决议,同意刘兵武将其持有的微导有限1.00%的股权(认缴出资额29.40万元、实缴出资额29.40万元)转让给王燕清;王燕清将其持有的微导有限3.00%的股权(认缴出资额88.2353万元、实缴出资额88.2353万元)、2.00%的股权(认缴出资额58.7647万元、实缴出资额58.7647万元)、1.00%的股权(实缴出资额29.40万元、认缴出资额29.40万元)分别转让给LIXIANG、LIWEIMIN、胡彬;德厚盈投资将其持有的微导有限1.00%的股权(认缴出资额29.40万元、实缴出资额29.40万元)转让给胡彬。

前述转让价格均为1元每出资额。

同日,上述各方分别签署《股权转让协议》。

2018年4月16日,江苏中企华中天资产评估有限公司出具了评估报告,分别对聚海盈管理、LIWEIMIN、LIXIANG拟用于出资的无形资产进行了评估,经评估,以2017年12月31日为评估基准日,聚海盈管理、LIWEIMIN、LIXIANG用于出资的专利技术的评估值分别为355.00万元、443.00万元和148.00万元。

2018年3月,聚海盈管理、LIWEIMIN、LIXIANG分别与微导有限就出资的专利技术签订了相关转让合同。

2019年12月20日,微导纳米通过2019年第二次临时股东大会决议,同意微导纳米注册资本增加246.3158万元,由上海君联晟灏、北京君联晟源、江阴毅达、中小企业发展基金、江苏人才四期、无锡毓立、无锡新通、上海亿钏以货币方式出资,增资后的注册资本为4,746.3158万元。

此次增资价格为每股63.33元,合计增资15,600.0000万元,其中246.3158万元计入注册资本、15,353.6842万元计入资本公积。