微导纳米 - 688147.SH

主营业务：从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售,向半导体和泛半导体客户提供先进薄膜沉积设备和技术服务

经营范围：电子产品、半导体、新能源材料、纳米技术镀膜专用设备、专用纳米材料的研发、设计、生产、技术咨询、技术服务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

江苏微导纳米科技股份有限公司(简称“微导纳米”,股票代码688147.SH)成立于2015年12月,是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。

公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。

公司业务涵盖集成电路、光伏、LED,及MEMS等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域;主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、光伏电池、硅基微显示、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。

公司先后荣获国家专精特新“小巨人”企业、中国独角兽企业、江苏省小巨人企业(制造类)等荣誉称号,并被认定为江苏省企业技术中心、江苏省工程技术研究中心、江苏省工程研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站等。

在不断完善自有研发平台建设、持续巩固自身研发实力的同时,我们与复旦大学、上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学、澳洲新南威尔士大学等知名院校均建立了良好的合作关系,共同推进技术的创新发展。

（一）报告期内经营情况概述报告期内,公司紧抓下游产业链核心客户产能扩张和技术创新机遇,积极拓展半导体业务,取得显著成效,前期战略布局逐步落地。

随着High-k材料、金属化合物、硬掩膜等先进工艺设备量产规模的不断扩大,以及新工艺设备市场渗透率的不断提升,2025年上半年公司半导体业务增长强劲,新增半导体设备订单超去年全年水平。

截至2025年6月30日,半导体领域在手订单达23.28亿元,较年初增长54.72%。

报告期内,公司实现营业收入104,994.82万元,较上年同期增长33.42%,连续多年保持高速增长。

其中,半导体设备收入19,353.64万元,同比增长27.17%；光伏设备收入80,360.90万元,同比增长31.53%。

半导体设备收入占主营业务收入比重由2023年度的7.27%提升至18.45%,呈逐年上升的趋势。

同期,公司实现归属于母公司所有者的净利润19,236.06万元,同比增长348.95%；扣除非经常性损益的净利润13,636.47万元,同比增长1,090.38%,盈利能力保持稳健。

未来公司将继续加大对半导体业务的战略投入,积极运用可转债募集资金推进先进半导体设备的研发、生产及测试等设施建设,持续提升半导体产品工艺覆盖度,进一步增强市场竞争力。

为把握市场机遇,保持行业先发优势,提升未来发展潜力,公司重点在市场开拓、研发投入、人才资源、产品布局、运营管理等方面采取多项措施,其中主要包括：1、半导体设备业务：订单规模同比大幅度增长,占比逐年提升报告期内,全球半导体产业在人工智能、新能源汽车、数据中心等需求拉动下延续高景气,国内半导体产业依托国家政策与资本支持,产业链自主化进程加速,资本开支持续扩张。

作为国内半导体薄膜沉积设备领域的技术引领者之一,公司紧抓下游产业链核心客户产能扩张和技术创新机遇,加大研发投入和市场拓展力度,加快了新产品和新工艺的推广,成效显著。

ALD设备已涵盖了行业所需主流ALD薄膜材料及工艺,在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域均实现了产业化应用,量产规模不断增加。

CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域已实现产业化突破,进入存储芯片等领域先进器件量产生产线,并持续推出客户所需的多款关键工艺设备。

2025年上半年新增半导体设备订单超去年全年水平。

截至2025年6月30日,半导体领域在手订单达23.28亿元,较年初增长54.72%。

其中：iTomicHiK系列、iTomicMeT系列ALD设备和iTronixMTP系列CVD设备持续获得量产批量订单,实现多家产业链重要客户导入。

iTomicPE系列ALD设备自首台通过客户验收后,市场认可度持续提升,于报告期陆续取得多家产业链重要客户订单。

iTronixPE系列CVD设备拓展顺利,已获得先进封装领域重要客户订单,客户端验证顺利。

凭借强大的工艺开发能力,实现iTronixLP系列CVD设备多项关键工艺的突破,获得产业链核心客户的重复订单。

在市场拓展的同时,公司不断开发新技术、推出新产品以满足下游客户新需求。

报告期内,用于大规模生产的iTomicSpatix系列及四站架构腔体的高产能ALD、CVD设备正式推出,成为国内少数具备研发和生产空间型ALD设备的厂商之一。

基于当前市场需求及公司拓展的成效,预计2025年公司在半导体领域的产品工艺覆盖面、客户数量和订单规模将持续保持增长。

2、光伏设备业务：稳健经营,持续提升技术能力报告期内,光伏行业装机需求和产业规模仍保持增长,但受产业链各环节新增产能快速释放影响,短期内出现供过于求,产业链各环节盈利水平总体承压。

近期,随着国家政策引导,下游光伏电池片厂商也正积极通过技术创新、成本控制等方式,推动行业向高质量发展转变。

面对当前光伏行业的调整,公司加速现有技术升级和XBC、钙钛矿、钙钛矿叠层等新型电池技术研发,巩固技术领先地位；严格控制经营风险,不断优化成本,积极推动项目的交付和验收；通过积极开展国内外多元化市场布局,把握市场结构性机遇,实现稳健增长。

TOPCon技术路线,公司持续创新整线工艺,电池转换效率不断突破,自主研发的JW系列边缘钝化设备获得行业重要客户认可并取得订单。

XBC技术路线,依托公司在TOPCon量产整线的成熟经验与技术积累,成功开发了新一代XBC电池整线解决方案。

该方案可针对XBC电池的特殊工艺需求,提供定制化的薄膜沉积解决方案,助力客户快速实现XBC技术产业化,抢占下一代高效电池市场先机。

钙钛矿技术路线,公司不断优化和完善钙钛矿整线解决方案,目前已覆盖电子传输层（SnO等）、空穴传输层（NiOx等）、界面层及阻隔封装层等核心工艺环节,可实现关键功能层₂的制备。

报告期内,应用于钙钛矿电池的HY系列板式ALD设备获得客户验收,进入产业化应用阶段。

3、持续推进可转债募投项目建设随着国内半导体市场规模扩大及产业链自主可控需求提升,高端国产薄膜沉积设备需求持续增长。

报告期内,公司积极推进可转债募投项目“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”和“研发实验室扩建项目”的建设。

通过建设先进的生产车间,购置先进生产设备和量测设备,提升公司薄膜沉积设备的生产能力、研发能力及科技成果转化能力。

项目的实施将有效扩大公司半导体设备的生产规模,解决现有产能瓶颈,满足日益增长的订单需求,巩固竞争优势。

4、坚持创新驱动,保持高强度研发投入和成果转化力度报告期内,公司坚持自主创新,持续加大研发投入,加快半导体设备的产品布局,迭代发展新一代光伏电池技术路线。

2023年至2025年1-6月,公司研发投入分别30,814.00万元、41,909.38万元和15,317.22万元,多年来保持高比例研发投入,其中超过60%投入半导体领域。

公司半导体领域研发重点包括逻辑、存储、先进封装、新型显示器、化合物半导体等项目；光伏领域研发重点包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术等项目。

在持续强化技术壁垒的同时,公司高度重视技术保护工作,完善专利布局。

报告期内,公司新增专利申请及授权数量再创新高。

其中,新增各类型国家专利授权共计40项,累计授权专利数达到218项,新增申请专利共计98项,累计申请专利数达到710项。

5、持续提升制造供应和运营管理能力建设公司持续强化制造供应和运营管理能力建设,在生产制造领域全面推行精益生产和数字化管理,优化了制造工序、资源分配和产品追溯,降低了成本,进一步提升生产制造过程中的智能化程度。

报告期内,公司基于原子层沉积（ALD）技术的智能工厂成功入选2025年江苏省先进级智能工厂名单；供应链管理上加强预测、库存和供应商管理,构建稳定体系以应对产业链调整的风险,确保核心部件供应安全；质量管理上升级了供应商系统并成立专项团队,有效提升效率、追溯性并降低故障率,同时通过原材料优化降低成本、提升竞争力；研发质量提升方面通过整合系统模块以实现信息共享；系统工程通过专项攻关解决客户问题、提升效率,借助PLM项目推动研发数字化、智能化,有效缩短研发周期并提升设计创新能力。

2015年12月11日,王燕清、潘景伟、胡彬、刘兵武共同签署《江苏微导纳米装备科技有限公司公司章程》,约定微导有限注册资本为2,000.00万元,王燕清、潘景伟、胡彬、刘兵武分别认缴出资1,735.40万元、147.00万元、88.20万元、29.40万元,均为货币出资。

2015年12月25日,微导有限取得了无锡工商行政管理局新区分局核发的《营业执照》。

股份公司设立方式为有限责任公司整体变更为股份有限公司。

2019年12月3日,微导有限董事会通过决议,同意微导有限以2019年10月31日为基准日,将经天职国际审计的净资产59,597,806.03元按照1:0.7551的比例折合成股份公司股本4,500万元,每股面值1元,共计4,500万股,其余部分14,597,806.03元计入股份公司资本公积。

2019年12月3日,微导纳米的发起人股东签署《江苏微导纳米科技股份有限公司发起人协议》;2019年12月5日,微导纳米全体发起人召开股份公司创立大会暨2019年第一次临时股东大会,审议通过了《关于江苏微导纳米科技股份有限公司以账面净资产折股整体变更为股份公司的议案》等议案。

2019年12月5日,天职国际出具了《江苏微导纳米科技股份有限公司验资报告》(天职业字[2019]37647号),经审验,截至2019年12月5日,公司已收到全体股东以其拥有的微导有限净资产折合的实收资本4,500万元,余额14,597,806.03元计入资本公积。

2019年12月10日,微导纳米取得了无锡市市场监督管理局核发的《营业执照》。

2019年12月20日,微导纳米取得无锡市高新区(新吴区)商务局出具的《外商投资企业变更备案回执》(锡高管商资备201900507)。

2017年2月10日,微导有限董事会通过决议,同意LIWEIMIN将其持有的微导有限8.00%的股权(认缴出资额235.2941万元,实缴出资额0元)以0元的价格转让给聚海盈管理,LIXIANG将其持有的微导有限4.00%的股权(认缴出资额117.6471万元,实缴出资额0元)以0元的价格转让给聚海盈管理,王燕清将其持有的微导有限3.00%的股权(认缴出资额88.2496万元、实缴出资额88.2496万元)以88.2496万元的价格转让给聚海盈管理,王燕清将其持有的微导有限3.00%的股权(认缴出资额88.2496万元、实缴出资额88.2496万元)以88.2496万元的价格转让给德厚盈投资。

同日,上述各方分别签署《股权转让协议》。

2017年2月27日,微导有限取得了无锡市新吴区市场监督管理局核发的《营业执照》。

2018年3月23日,微导有限董事会通过决议,同意刘兵武将其持有的微导有限1.00%的股权(认缴出资额29.40万元、实缴出资额29.40万元)转让给王燕清;王燕清将其持有的微导有限3.00%的股权(认缴出资额88.2353万元、实缴出资额88.2353万元)、2.00%的股权(认缴出资额58.7647万元、实缴出资额58.7647万元)、1.00%的股权(实缴出资额29.40万元、认缴出资额29.40万元)分别转让给LIXIANG、LIWEIMIN、胡彬;德厚盈投资将其持有的微导有限1.00%的股权(认缴出资额29.40万元、实缴出资额29.40万元)转让给胡彬。

前述转让价格均为1元每出资额。

同日,上述各方分别签署《股权转让协议》。

2018年4月16日,江苏中企华中天资产评估有限公司出具了评估报告,分别对聚海盈管理、LIWEIMIN、LIXIANG拟用于出资的无形资产进行了评估,经评估,以2017年12月31日为评估基准日,聚海盈管理、LIWEIMIN、LIXIANG用于出资的专利技术的评估值分别为355.00万元、443.00万元和148.00万元。

2018年3月,聚海盈管理、LIWEIMIN、LIXIANG分别与微导有限就出资的专利技术签订了相关转让合同。

2019年12月20日,微导纳米通过2019年第二次临时股东大会决议,同意微导纳米注册资本增加246.3158万元,由上海君联晟灏、北京君联晟源、江阴毅达、中小企业发展基金、江苏人才四期、无锡毓立、无锡新通、上海亿钏以货币方式出资,增资后的注册资本为4,746.3158万元。

此次增资价格为每股63.33元,合计增资15,600.0000万元,其中246.3158万元计入注册资本、15,353.6842万元计入资本公积。