| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目 | 26421.02 万元 | 22.22 % |
| 基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目 | 63310.8 万元 | 53.25 % |
| 集成电路高端装备产业化应用中心项目 | 11811.74 万元 | 9.93 % |
| 补充流动资金 | 15000 万元 | 12.62 % |
| 超募资金用于股份回购 | 2347.14 万元 | 1.97 % |
| 投资金额总计 | 118,890.70 万元 | |
| 实际募集资金总额 | 110,023.64 万元 | |
| 超额募集资金 | -8,867.06 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | 108.06 % |