| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目 | 26421.02 万元 | 21.81% |
| 基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目 | 63310.8 万元 | 52.25% |
| 集成电路高端装备产业化应用中心项目 | 11811.74 万元 | 9.75% |
| 补充流动资金 | 15000 万元 | 12.38% |
| 超募资金用于股份回购 | 2347.14 万元 | 1.94% |
| 节余募集资金永久补充流动资金 | 2267.01 万元 | 1.87% |
| 投资金额总计 | 121,157.71 万元 | |
| 实际募集资金总额 | 110,023.64 万元 | |
| 超额募集资金 | -11,134.07 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | 110.12 % |