项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
---|---|---|
半导体装备关键零部件研发制造项目 | 49000 万元 | 48.04 % |
超精密测控产品长三角创新与研发中心 | 30000 万元 | 29.41 % |
集成电路装备与零部件产品创新项目 | 15000 万元 | 14.71 % |
光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发项目 | 8000 万元 | 7.84 % |
投资金额总计 | 102,000.00 万元 | |
实际募集资金总额 | - | |
超额募集资金 | -102,000.00 万元 | |
投资金额总计与实际募集资金总额比 | - |