主营业务：集成电路核心装备的研发、生产、销售与技术服务,存量房地产业务的销售与去化
经营范围：一般项目:集成电路芯片及产品销售;电子专用设备销售;机械零件、零部件销售;电子元器件批发;电子产品销售;化工产品销售(不含许可类化工产品);光电子器件销售;五金产品批发;五金产品零售;金属材料销售;新材料技术研发;新型金属功能材料销售;电子专用材料销售;电子专用材料研发;新材料技术推广服务;电子元器件与机电组件设备销售;电子元器件零售;特种陶瓷制品销售;电气设备销售;机械电气设备销售;机械设备销售;半导体分立器件销售;半导体器件专用设备销售;有色金属合金销售;金属矿石销售;投资管理;以自有资金从事投资活动;自有资金投资的资产管理服务;国内贸易代理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);工程管理服务;建筑材料销售;信息技术咨询服务;建筑装饰材料销售;轻质建筑材料销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;货物进出口;技术进出口;进出口代理;财务咨询。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
上海先导基电科技股份有限公司成立于1991年,并于1993年在上交所主板上市。
作为一家具有新兴产业基因的高科技上市公司,近年来,公司在控股股东浦科投资的带领下,秉持卓越的创新实力和坚定的自主研发精神,通过“外延并购+产业整合”双轮驱动战略布局半导体设备材料赛道,持续加大集成电路在公司整体业务中的比重,致力于支持国产设备的发展成长。
公司专注于自主研发核心设备,致力于开发全系列离子注入机产品。
旗下凯世通是国内领先的高端集成电路离子注入机装备企业,处于国内12英寸低能大束流离子注入机的领先地位,持续领跑国产低能大束流和高能离子注入机系列产品的产业化进程。
不仅在产品交付量和工艺覆盖率方面均处于国内前沿,还多次承担国家及上海市科技专项,先后荣获上海市科技进步二等奖、北京市科技进步一等奖、国家级专精特新“小巨人”企业等荣誉。
万业企业不断深化全系列产品矩阵布局,作为国内首家获得CIS低能大束流离子注入机订单的本土设备供应商,更积极推动SOI氢离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特色工艺设备的研发和应用,持续拓宽不同细分领域的产业边界。
未来,万业企业还将持续并进横向拓展与纵向深耕,开拓上下游产业链整合、深化半导体核心设备领域的战略布局,提升关键装备的自主可控水平,不断为推动中国集成电路产业的蝶变跃升赋能。
报告期内重点任务完成情况1、生产研发及市场拓展方面报告期内,公司旗下控股子公司凯世通作为国内离子注入机的设备领军者,研发量产的低能大束流离子注入机、高能离子注入机等系列产品,以满足客户制造需求和业界前沿技术发展为导向,坚持正向开发的理念,从“第一性原理”出发,依托“通用平台+关键技术模块”的开发模式,通过持续大量的研发投入,攻关关键核心技术,推动产品迭代升级、丰富产品矩阵,为客户提供全方位的产品与服务解决方案,产业化取得重要进展,市场竞争力进一步提升。
凯世通立足自主创新,推动设备生产效率、稳定性以及工艺覆盖等各项指标不断取得突破,满足客户量产需求,继续提升产品市场竞争力；大束流离子注入机系列产品凭借高可靠性、低成本等优势,产品性能持续提升,稳步推进批量应用；高能离子注入机整体产业化进展良好,持续拓展新客户。
同时公司面向客户新工艺新应用需求及产业前沿技术趋势,加大先进制程和特色工艺离子注入机开发力度,进行更多关键制程工艺开发和验证,深化全系列产品布局。
凭借强大的研发创新能力、良好的设备性能表现和专业高效的客户服务体系,凯世通在客户端的品牌形象与口碑不断增强。
这使得凯世通的高端离子注入机系列产品不仅赢得了更多现有重要客户的重复订单,也获得了多家新客户青睐,不断提升市场份额。
截至报告期末,凯世通的主要产品在客户销售方面取得显著成果：低能大束流离子注入机客户已突破12家；超低温离子注入机客户突破7家；高能离子注入机客户也突破3家。
报告期内,凯世通自主研发生产的应用于CIS器件掺杂的低能大束流离子注入机首台设备已通过验收。
CIS低能大束流离子注入机基于凯世通已批量产业化应用的通用注入平台与光路系统,同时对关键核心零部件进行自研,填补国内空白,通过多项技术创新满足了CIS图像传感器制造对金属污染物控制与注入角度控制的严格要求,有效应对了暗电流产生的白噪点问题,实现了国产CIS离子注入机的重要突破。
图：CIS器件结构图：CIS器件暗电流问题2020年至今,凯世通已完成订单交付40多台,主要服务于先进逻辑、先进存储、功率器件、CIS图像传感器等应用领域。
2025年上半年,凯世通新增交付8台离子注入设备。
公司提供的多系列产品在关键节点上的工艺覆盖率和良率满足生产要求,产能置换率不断提升,为用户提供广覆盖、高产能、低成本的优选解决方案。
在新产品研发方面,凯世通取得良好进展,研发投入多款面向重点细分领域的离子注入机,满足各类制程工艺客户需求,中束流离子注入机、SOI氢离子注入机、超高能离子注入机、SiC化合物半导体离子注入机等特色工艺设备的研发验证稳步进行,并加快先进制程离子注入机的研发与应用,持续提升离子注入机重大装备自主可控水平,加速离子注入机在新领域的广泛应用,与客户建立更加紧密和长期的合作关系。
报告期内,凯世通紧跟技术发展趋势和客户需求,不断强化在离子注入机领域的技术领先优势。
针对28nm及更先进工艺对离子注入高精度、极少颗粒污染、高良率大产能的需求,采用多电极束流引出技术、超低能束流传输技术、离子束能量过滤技术、各向同性扫描、离子注入平台等技术,研制了具备注入角度控制更加精准的真空各向同性机械扫描系统,超细微颗粒污染控制、覆盖工艺广的离子注入机系列产品,推进全系列离子注入机的产业化；同时从研发、采购、测试、客户等方面全链条支持关键零部件国产化,积极缩短验证周期。
（1）离子源方面,在超大规模集成电路的生产环节中,影响离子注入机正常工作时间的主要因素是离子源的定期维护,这种维护周期的长短影响设备的生产使用成本。
离子源使用寿命的提高使得离子注入机的维护时间降低,正常工作时间提高,进而降低设备的生产使用成本。
凯世通研制了适应多种不同场景的离子源,持续提升离子源使用寿命和引出束流的质量,进而提高离子注入工艺的良率和经济性。
（2）离子光路方面,采用高强度束流分析磁铁、均匀性调节装置、能量控制装置等束流光学部件,质量分析器在很大幅宽范围内具有均匀的磁场分布,可以匹配从离子源引出的超宽幅带状离子束的传输,不需要对束流进行过多的展宽,从而减少了光学器件的数量,同时也缩短了束流路径的长度。
以上两点提升了束流传输效率。
图：离子束光路系统（3）工艺腔体和真空扫描机器人方面,采用真空五轴机器人与自主开发的运动控制算法相结合实现精准注入,实现各向同性扫描保证了注入角度和均匀性的精确控制,降低束流发散效应对注入角度不均匀性的影响,提升了生产芯片的良率。
（4）传送机器人方面,采用双臂搬运机器人并行分工的机制,结合每个搬运机器人上具有多自由度的机械手,使得硅片在预真空腔体和工艺腔体间的传输可以有序交替并行作业从而减少无效等待时间,缩短了整个操作循环的时间,达到提高系统产能的目的。
报告期内,公司在传送机器人控制系统方面取得技术进展,进一步提高了公司设备的产能。
2、生产基地建设方面报告期内,为进一步增强国产集成电路离子注入机研发与产业化能力,加快推进整机及零部件国产替代,凯世通加快建设检测中心,具备量产设备性能提升测试、在研设备研发测试验证、客户端工艺测试验证、零部件国产化测试验证等多项功能,并实际投入运行,以提升量产设备功能检测与交付进度,加快新设备研发创新、缩短开发周期,批量验证测试国产零部件,增强供应链韧性和自主可控能力。
图：凯世通上海金桥基地千级洁净实验室安徽万导分别于广东清远基地、安徽五河基地、湖北荆州基地及浙江衢州基地进行了铋化合物材料的产能租赁和建设,多生产基地布局下构建起规模化产能体量,增强了半导体材料铋化合物产品的研发与产业化能力,为市场供应提供坚实支撑。
图：安徽五河基地氧化铋生产线图：湖北荆州基地铋化合物生产线3、供应保障方面公司持续优化供应链管理体系,建立了覆盖生产与库存管理、采购管理、物流管理等多维度的协调机制。
当前,公司与核心部件供应商已建立良好的合作关系,拥有稳定的供应商体系。
报告期内,公司全面加强对供应商的全流程管理与沟通合作,持续夯实供应链基础；开展质量管理提升行动,强化质量管控；持续开发关键零部件的供应商,与多家国内优质零部件企业、科研院所建立零部件国产化战略合作；与新任实控人先导科技集团建立供应链合作,就部分核心零部件开展联合研发测试,强化供应链协同和降本增效,提升供应链国产化比例；持续完善供应链生态,健全风险防控机制,提升服务能力,有效保障了产品的批量交付和新品研发。
4、运营管理方面公司坚持提升产品生产制造水平,优化运营管理。
公司旗下凯世通通过精细化的管理手段,不断推动生产流程的优化,提高生产效率和规范化水平。
在产品质量方面,凯世通建立完善的质量管理体系,确保从原材料采购到生产制造、测试、交付等每个环节都经过严格的质量检测和控制,从而保证产品符合高标准的质量要求。
同时,凯世通还注重提升售后技术服务能力,提高客户满意度；专门设立了HSE（健康、安全、环境）管理科室,全面监控和管理公司的安全生产与合规运营。
此外,在信息系统建设方面,公司全面构建数字化业务运营管理平台,打造智能高效的业务体系。
5、知识产权方面公司高度重视科技创新和知识产权保护工作。
报告期内,公司子公司凯世通持续并加强知识产权体系建设,建立了涵盖整机系统、关键技术和工艺应用的全方位专利体系。
截至2025年6月30日,公司已累计申请专利341项,其中发明专利190项,实用新型专利142项,其他9项。
6、人才队伍建设方面报告期内,公司结合业务发展需要,持续加强人才梯队建设,其中研发人员人数从213人增长到295人,研发人员人数增长率为38.50%。
人才引进方面,公司拓宽全球人才招引渠道,吸引了行业经验丰富的管理及国际半导体设备领域顶尖专家人才加盟,壮大了研发团队力量,充分发挥技术创新驱动引领功能,为公司战略发展注入新动能。
人才培养方面,公司持续优化培训体系,组织开展多项深入的专题培训和学习交流,探索校企合作新模式,推荐优秀工程师进行在职教育,为员工的多方面发展提供平台与机会,储备人才团队力量。
人才激励方面,公司重视员工薪酬激励制度体系的建设,并通过实施员工持股计划,充分调动员工的积极性和创造性,吸引和保留优秀管理人才和业务骨干,实现公司与员工的共赢。
7、科研荣誉方面报告期内,公司旗下凯世通积极承担科技攻关使命,承担国家、上海市与浦东新区多个科技项目,项目进展良好,加速填补离子注入机整机及关键零部件国产化空白,实现关键核心技术自主可控。
凭借在离子注入机领域的自主研发与技术创新重大突破,凯世通曾荣获上海市科技进步奖一等奖,获评国家级专精特新“小巨人”企业、上海市高新技术成果转化项目自主创新十强、上海市专精特新中小企业、上海市高新技术企业等荣誉。
8、现有存量房产去化方面2025年上半年度,公司房产业务无新增土地储备,无新开发的住宅项目,依据公司经营方针,以推动存量房和车位销售为主要目标。
报告期内,公司持续深化这一策略路径,重点仍在于大力持续推进松江、宝山项目自持商品房及宝山项目地下车位的销售工作。
公司销售团队延续并优化前期成功经验,积极应对市场变化,确保存量资产去化稳步推进。
同时,已售项目的交接工作顺利推进,为业务战略转型提供了保障,为后续发展奠定了坚实基础。
9、内部治理方面公司建立了较为完善的内控制度和治理结构。
报告期内公司严格依照《公司法》、《证券法》、《上市规则》以及《公司章程》等有关法律、法规、规范性文件的要求,根据证监会和交易所修订的一系列规则,紧跟监管要求,及时制定和更新公司相关治理制度,不断完善公司的治理机制,提高经营管理决策的科学性、合理性、合规性和有效性,强化风险管理和内部控制,严格贯彻执行相关制度,提升公司的治理和规范运作水平,为公司业务目标的实现奠定良好的基础。
10、信息披露及防范内幕交易方面公司高度重视上市公司规范运作、信息披露和投资者关系管理工作,严格遵守法律法规和监管机构规定,严格执行公司信息披露管理制度,真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披露义务。
通过上市公司公告、投资者交流会、业绩说明会、上证e互动、电话、邮件、接待投资者现场调研等诸多渠道,与投资者进行沟通交流,建立良好的互动关系。
同时,公司高度重视内幕交易防范,做好内幕信息知情人登记管理和防范内幕交易工作。
对公司董事、监事、高级管理人员及相关员工定期作出禁止内幕交易的警示及教育,敦促董事、监事、高级管理人员及相关知情人员严格履行保密义务并严格遵守买卖股票规定。
公司原名上海众城实业股份有限公司,1991年10月28日经上海市人民政府办公厅沪府办(1991)105号文批准成立,1991年10月28日由上海市工商行政管理局颁发企业法人营业执照。
公司所发行的A股于1993年4月7日在上海证券交易所上市交易。
1998年3月20日由于中远(上海)置业发展有限公司完成了对上市公司68.37%发起人股的收购,公司更名为“中远发展股份有限公司”。
2001年4月12日公司2000年度股东大会通过了“关于公司向社会公开募集8,000万股A股”的决议,2002年1月25日获取了中国证监会证监发行字[2001]66号文“关于核准中远发展股份有限公司发行股票的通知”,并于2002年2月增发新股8,000万股A股。
公司网上发行新股(78,598,034股)于2002年3月1日上市交易,网下机构投资者配售股份(1,401,966股)于2002年6月3日上市交易。
后公司控股股东变更为三林万业(上海)企业集团有限公司,公司更名为上海万业企业股份有限公司。