富创精密 - 688409.SH

主营业务：半导体设备精密零部件的研发、生产和销售

经营范围：许可项目:货物进出口,技术进出口,进出口代理(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以审批结果为准)一般项目:机械零件、零部件加工,机械零件、零部件销售,半导体器件专用设备制造,金属表面处理及热处理加工,金属切割及焊接设备制造,金属加工机械制造,增材制造,3D打印服务,技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

沈阳富创精密设备股份有限公司成立于2008年,是国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业、国家高新区瞪羚企业、国家“02重大专项”及国家智能制造新模式应用项目承担单位。

公司专注于金属材料零部件精密制造技术,掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、高洁净度表面处理、焊接、组装、检测等一站式制造工艺,通过向国内外半导体设备企业批量供货,建立了一系列制造标准流程和质量管理体系,产品的高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能达到国际水平。

2026年上半年,公司围绕产能布局、人才储备、技术研发三大战略方向持续加大投入,同时坚持以大客户战略为核心导向,持续提升综合配套服务能力,夯实公司长期发展根基。

依托扎实的产品技术与交付配套能力,公司深度绑定行业头部客户,客户结构优质且壁垒深厚。

伴随国内半导体设备国产化率持续提升以及下游晶圆厂持续扩产,行业整体需求快速释放、头部设备厂商订单规模显著增长,有效带动公司整体业务实现高速增长。

报告期内,公司各生产基地产能逐步释放,规模生产带来单位制造成本优化,经营业绩实现改善。

公司持续推进平台化发展战略,着力开展核心技术迭代优化、产品矩阵完善及客户服务体系升级工作。

作为长期服务国内外头部半导体设备厂商的精密零部件企业,公司坚持以自主创新为核心驱动力,不断推进核心技术升级与产品系列迭代,持续夯实研发创新与数智化建设能力。

报告期内,公司获评“辽宁省智改数转标杆企业”,通过技术能力的持续提升,把握行业发展机遇。

1、产品研发方面匀气盘方面,高端匀气盘领域长期被国际头部厂商垄断,市场技术壁垒与准入门槛较高。

报告期内,公司聚焦先进制程零部件国产化需求,顺利完成多款高度集成化新型匀气盘产品研发落地,产品广泛适配先进逻辑、先进存储产线的刻蚀、薄膜沉积等核心化学反应工序。

公司重点研发的多层钎焊内腔匀气盘,集成小孔遮蔽、多层钎焊、高洁净清洗、内腔阳极氧化等多项复杂精密工艺,实现全流程自主可控生产,保障表面处理量产稳定性,成功突破行业高端匀气盘制造瓶颈。

同时,公司研发的高深宽比同心槽匀气盘可精准适配Harp先进工艺,为半导体先进制程薄膜沉积环节提供可靠的核心零部件支撑。

此外,内腔喷砂匀气盘、超长进气流道焊接加热匀气盘等新品的开发落地,进一步丰富了公司高端匀气盘产品矩阵。

报告期内,公司匀气盘业务同比翻倍,高难度、复杂结构匀气盘产品已实现在国内半导体先进制程领域的导入与推广,进一步夯实了公司在高端半导体精密零部件领域的市场地位,持续助力半导体设备核心零部件国产化进程。

静电卡盘方面,公司成功突破海外技术壁垒,相关产品完成国内部分设备厂商验证并实现国产化替代,跻身核心供应商行列,铝基与陶瓷板粘接类、浆料印刷类静电卡盘达成首件技术突破,产品可适配ETCH、CVD、PVD、IMP、CD-SEM等核心机台。

金属加热盘领域同样打破海外技术垄断,产品通过多家国内外头部设备厂商认证、实现国产化替代并成为核心供应商,其中铝合金加热盘实现多款量产及多型号小批量供货,不锈钢加热盘攻克焊接工艺与高温均匀性技术难点,实现多型号规模化生产,产品应用于PECVD、StripETCH等核心机台。

在阀门领域,公司针对关键物料国产化工作,已初步完成国内外主流品牌阀门性能对比测试。

试验结果表明,相关产品有望具备一定国际竞争优势。

公司持续优化国内品牌供应商体系,依托设备端应用验证与失效分析,推进阀门类关键物料国产化进程。

2、技术研发方面报告期内,公司多项核心技术实现重要突破：一是表面处理领域“N系列膜层”完成近千万级订单的生产与交付；二是建成国内领先的镀金工艺技术能力,可满足行业最高性能标准,已承接国内头部客户国产化替代的千万级新增订单；三是气体传输系统集成技术取得重大进展,气柜S6仿真技术可完整复现SEMIS6全部测试边界,处于行业领先水平。

3、产能建设方面公司深度落地华北区域产能与服务升级规划。

其中,定位为国内头部半导体设备企业重点配套基地的北京工厂,已于2025年下半年投产运营,有效补齐华北区域服务短板,大幅提升公司在华北市场的客户响应速度、交付能力与综合服务效率；同时南通工厂顺利爬产,生产基地规模化效应逐步显现,为国内半导体设备产业链稳定配套、稳健发展提供有力支撑。

与此同时,公司可精准匹配客户定制化生产需求,提供高效、专属的定制化配套服务与快速售后响应。

此外,南通、沈阳基地持续夯实区域服务能力,依托属地资源优化区域市场布局,筑牢国内全域服务网络根基。

报告期内,公司持续推进服务体系升级,深化全球布局、拓展多维度业务协同,全方位提升客户服务品质与综合服务能力。

为增强全球供应链韧性、健全客户知识产权安全保护体系,公司持续强化各生产基地区域服务覆盖能力,构建国内外联动、多点协同的生产服务格局。

4、智能工艺方面公司面向多品种微批量的制造模式,已建成覆盖工艺特征、加工方案、刀具及参数的全品类标准化体系,并依托智能工艺专家系统（含加工知识库、资源库、CAM模板库及质量控制黑白名单）实现工艺策划、工装刀具调用、CAM轨迹与切削参数自动生成,以及工艺文件自动输出和质量自动检查,覆盖工艺编制全流程业务与八成以上人工操作,在显著提升编制效率的同时,通过刚性执行企业标准,从源头杜绝人为质量波动和经验差异,大幅缩短新员工上手周期。

在此基础上,系统的深层价值正不断显化：经济层面,自动匹配最优参数不仅降低编程耗时,更有效减少试切报废、刀具崩损和工件超差等隐性成本,尤其微批量下单件报废即影响批次良率,而系统级防错可将“试切件”转化为“首件合格”,并延长昂贵刀具寿命,同时工艺流转周期由小时级压缩至分钟级,释放柔性产能,赢得快速换型的时间红利；质量与市场层面,知识库的前置拦截将质量管控前移至事中控制,杜绝人为漏检,同时将工艺专家从重复劳动中解放,聚焦难加工材料攻关和新型工艺验证,为技术迭代注入内生动力。

面向智能工艺4.0,系统核心功能已明确设计,将进一步采集机床切削载荷、振动及热变形数据,与预设参数闭环反馈,推动工艺参数的自学习与自进化,使加工精度持续逼近极限,最终构建起“硬知识、软工具、实战数据”三位一体的数字工艺资产包,形成不可替代的行业Know-how壁垒。

这一体系不仅将“多品种微批量”从管理难点转化为企业舒适区,更以刚性的标准执行、柔性的生产响应和数据驱动的持续进化,支撑企业承接高门槛、高附加值订单,实现从“能制造”到“智造优”直至“不可替代”的价值跨越。

2008年6月10日,沈阳先进、辽宁科发和Fortrend签署《投资合同》和《沈阳富创精密设备有限公司章程》,约定共同出资设立富创有限。

2008年6月13日,万隆会计师事务所有限公司辽宁分公司以《验资报告》(万会辽业字[2008]第47号)验证,截至2008年6月13日,富创有限(筹)已收到辽宁科发缴纳的货币出资1,000.00万元。

2008年6月18日,沈阳市高新技术产业开发区管委会出具《关于中美合资“沈阳富创精密设备有限公司”章程及设立企业的批复》(沈高新外字[2008]064号),同意设立富创有限。

2008年6月23日,辽宁省人民政府向富创有限核发《中华人民共和国外商投资企业批准证书》(商外资沈高新资字[2008]0005号)。

公司设立后,沈阳先进陆续实缴出资,于2011年12月全部完成。

Fortrend基于自身业务考虑未实际出资,并将股权于2011年6月无偿转让至天广投资。

天广投资受让后陆续实缴出资,于2012年7月全部完成。

富创有限的设立程序等事项符合法律法规的规定。

2020年9月18日,立信会计师出具《沈阳富创精密设备有限公司审计报告》(信会师报字[2020]第ZA15642号),截至2020年7月31日,富创有限经审计的净资产为87,572.78万元。

2020年9月23日,国融兴华出具《沈阳富创精密设备有限公司拟整体变更为股份有限公司项目资产评估报告》(国融兴华评报字[2020]第550045号)。

截至2020年7月31日,富创有限净资产评估值为111,651.11万元。

2020年9月23日,富创有限董事会同意将富创有限整体变更为股份公司。

2020年9月25日,富创有限股东会同意将富创有限整体变更为股份公司,并由全体股东作为发起人签署《发起人协议》。

各发起人以富创有限截至2020年7月31日经审计的净资产87,572.78万元折合为股份公司的股本15,679.00万股,每股面值1.00元,其余71,893.78万元计入资本公积。

2020年10月10日,公司召开创立大会暨第一次股东大会,审议通过了股份公司设立相关议案,并选举产生股份公司第一届董事会、第一届监事会。

2020年10月27日,公司完成本次整体变更的工商登记。

2020年11月12日,立信会计师以《验资报告》(信会师报字[2020]第ZA15905号)验证,截至2020年10月10日,富创精密已将富创有限截至2020年7月31日经审计的净资产875,727,843.33元折合股份总额15,679.00万股。