| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 半导体设备核心光学零部件产业化项目 | 34895 万元 | 30.19 % |
| 半导体材料及表面处理产业化项目 | 31737 万元 | 27.46 % |
| 眉山基地产能扩建项目 | 20900 万元 | 18.08 % |
| 总部及研发中心建设项目 | 16056 万元 | 13.89 % |
| 补充流动资金项目 | 12000 万元 | 10.38 % |
| 投资金额总计 | 115,588.00 万元 | |
| 实际募集资金总额 | 168,020.70 万元 | |
| 超额募集资金 | 52,432.70 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | 68.79 % |