| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 高端半导体质量控制设备产业化项目 | 61773.54 万元 | 36.09 % |
| 研发中心升级建设项目 | 14563.06 万元 | 8.51 % |
| 补充流动资金 | 55000 万元 | 32.14 % |
| 部分超募资金永久补充流动资金及偿还银行贷款 | 20500 万元 | 11.98 % |
| 永久补充流动资金及偿还银行贷款 | 19307.74 万元 | 11.28 % |
| 投资金额总计 | 171,144.34 万元 | |
| 实际募集资金总额 | 188,800.00 万元 | |
| 超额募集资金 | 17,655.66 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | 90.65 % |