| 项目名称 | 拟投入资金 | 投资占比 |
|---|---|---|
| 高端晶圆处理设备产业化项目 | 23860.73 万元 | 46.6 % |
| 高端晶圆处理设备研发中心项目 | 13918.24 万元 | 27.18 % |
| 超募资金永久补充流动资金 | 3830 万元 | 7.48 % |
| 超募资金永久性补充流动资金 | 3830 万元 | 7.48 % |
| 永久补充流动资金 | 3830 万元 | 7.48 % |
| 超募资金-股份回购 | 1000.916 万元 | 1.95 % |
| 节余募集资金补充流动资金 | 928.47 万元 | 1.81 % |
| 投资金额总计 | 51,198.36 万元 | |
| 实际募集资金总额 | 56,637.00 万元 | |
| 超额募集资金 | 5,438.64 万元 | |
| 投资金额总计与实际募集资金总额比 | 90.40 % |